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MEMS器件<i style='color:red'>老炼试验</i>

MEMS器件老炼试验

老炼试验的目的是为了筛选或剔除那些勉强合格的器件。这些器件或是本身具有固有的缺陷或者其缺陷产生于制造工艺的控制不当,这些缺陷会造成与时间和应力有关的失效。如不进行老炼试验,这些有缺陷的器件在使用条件下会出现初期致命失效或早期寿命失效。

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